发布时间 : 星期六 文章上虞晶盛单晶炉操作说明书更新完毕开始阅读90a01dd726fff705cc170a8d
籽晶夹头及重锤、两个抽气口、CCD 窗口、测取光孔玻璃、主观察窗及其防护玻璃；镀金玻璃朝向 炉内一侧禁止擦拭，否则镀金层马上被损坏。不小心擦拭过的，应立即更换；
（5）在进行以上打扫时，必要时可以使用砂纸打磨。凡是砂纸打磨过的地方，要将砂纸上掉下的金刚砂
颗粒用吸尘泵吸干净；
（6）打开防爆阀，让抽气管道中氧化物燃烧，清除残余氧化物； 注意：打开防爆阀时手和眼睛应该与防爆阀保持一定距离。 （7）清除主抽气管道内的氧化物；
（8）最后用纱布沾无水乙醇擦干净炉内壁。
2.1.4 装热场
按顺序装好炉内石墨件，上升或下降坩埚轴，使石墨坩埚顶部与加热器平齐，在控制柜操作屏上校正 坩埚零位。使用万用表欧姆档检查加热器是否接地。装热场时，进行如下检查，并调整正常： （1）加热器石墨螺钉先拧松再拧紧，防止高温烧结； （2）托杆与下轴连接是否稳固、对中； （3）确认石墨埚托及三瓣埚是否完好可用；
（4）托杆与石墨埚托、石墨埚托与三瓣埚托之间的止口连接必须吻合良好，做到旋转滑动自如；
（5）检查主炉室“O ”形圈的位置及清洁度，用纱布沾无水乙醇清洁“O ”形圈及主炉室下法兰密封面； （6）按“炉筒提升”按钮使主室上升到高出加热器上方，导向套转到对准导向杆位置，按“炉筒下降”
按钮，直到主室平稳着落于底座上；
（7）开埚转 2rpm，检查保温罩、石墨坩埚与加热器同心度，小心转动保温罩位置到开口对准取光孔，确
认保温罩与加热器绝缘良好，无短路现象；
（8）除上下保温盖及导流筒以外的所有石墨件确认安装完毕，并相互对中后，才能准备装料。
2.2 装炉
2.2.1 装炉前检查
（1）仔细察看上炉生产记录，确认运转正常，设备完好； （2）检查设备传动润滑部件是否正常；
（3）检查导向定位部件是否安装牢固，炉室提升环是否紧固； （4）确认车间供电正常；
（5）检查各冷却水路是否畅通，水温、水压、流量是否正常；
（6）若发现上一炉生产过程不正常，须认真分析原因，采取有效措施后方可继续开炉； （7）准备好一次性手套、线手套、剪刀、口罩、装料车等辅助用品； （8）检查所备多晶料及母合金与报告单是否相符； （9）用擦炉纸沾酒精把装料车擦干净。
2.2.2 检查和安装石英坩埚
（1）打开石英坩埚包装，戴好薄膜手套把埚举起对准光源检查石英坩埚无问题； （2）将石英坩埚放入石墨坩埚内，过程中不能有任何磕碰发生，尽量安装水平； （3）装坩埚时要防止将坩埚外壁的石英渣子带入埚中；
（4）若发现石英坩埚异常应及时与工段长或单晶技术主管联系，经判断不能使用后，进行更换； （5）装完坩埚后，另换薄膜手套，进行装料。
2.2.3 装料
（1）用剪刀把多晶料包装袋沿塑料线剪开，注意外层包装袋不能接触到料； （2）装料技巧：
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a、首先选择小碎块（直径小于 20mm）的料铺放到埚底，应尽量铺满坩埚底部； b、选择较小块（直径小于 40mm）的料继续装入埚的中下部，中下部的料可以装的紧凑些并且贴近 埚壁，但应自然堆砌，不能硬挤。与坩埚内壁接触的料块，应尽量选择具有表面光滑的球型面的料， 避免尖锐端对着埚壁。
c、中度及较大块料（直径小于 70mm）码放在坩埚中部及中上部，并注意使之对称放置，料块太大 时，需要拍开，选择两块同样大小的料块，双手握实后互相拍击，使之碎开。拍时避免崩出的料打 到眼睛或石英埚，坩埚上部要码放成圆锥形，每块料必须垒实，保证不能滑落，上部料块应选择较 大块和大块。埚中料块不宜装的太高，衡量的标准是：最上面一层的料块，其重心处于坩埚平口之 下（装在导流筒平口内的几块料除外）；d、装上部的料块时，除最末一层外，仍可轻轻靠在埚壁上， 但应注意几点：
i. 减少料块与埚边接触面积，以防止挂边；
ii. 在料块相互之间的相对位置上，要预估料块在垮料后，是否会架桥，然后进行相应调整； iii. 装最上面一层时 ，料块不要靠在埚壁上。禁止为过多装料而在坩埚上沿“搭围墙”、硬挤
硬塞，宁愿少装料，也不要冒溅料、挂边的风险；
iv. 装料时，要预留足够的坩埚旋转空间，确保坩埚旋转时料不会碰到导流筒。 （3）装料过程中应注意： a、必须保证料块是轻轻的与石英坩埚接触的，避免
任何的磕碰和打击； b、装料过程中严禁多晶原料与包装袋外表直接或间接接触； c、拍料时一定要戴好线手套，必要时戴上护目镜； d、不论是上、中、下哪个部位，料块尖锐部分不能直接对着坩埚壁； e、要注意装料过程中防止把料洒进护底盘。
（4）装完料将坩埚下降到可以安装导流筒，并确保不超过下限，防止短路； （5）装入上保温罩、上盖板以及导流筒；
（5）装导流筒时要戴上薄膜手套，以防止沾污多晶料及导流筒，并且要避免导流筒撞上多晶料块，装好
后要检查料块与导流筒之间的距离，能否允许转动坩埚；
（6）合上炉盖。检查籽晶、重锤等是否安装妥当，并用酒精小心擦拭干净。合上副室，停稳籽晶，打开
翻板阀。
2.2.4 封炉
（1）目检炉内的热场石墨件位置安装无误，系统清扫干净无异物，钢丝绳无损伤，可以封炉； （2）用酒精擦净主炉室、炉盖的密封面及翻板阀；
（3）手动旋转炉盖至主炉室定位块，按住“拉伸腔下降”按钮，将炉盖平稳下降与主室复位。注意检查
炉盖合限位开关是否正确动作；
（4）向右拨动电控柜上拉伸腔旋转开关，将副炉室旋回至右旋限位开关动作，关闭旋转开关； （5）按住“拉伸腔下降”按钮，使副炉室沿隔离阀座上端的定位块下降至与阀室复合。
2.2.5 安装籽晶
（1）查看隔离阀 “O”形圈有无损伤，确认正常后关闭隔离阀，以防止杂质沾污原料和炉室；
（2）打开隔离阀座炉门，操作籽晶升降系统将籽晶降至阀室，拉紧钢丝绳拆下籽晶夹头，检查插销有无
损伤，确保正常后装回籽晶夹头；
注意：为防止钢丝绳在缆索管上错位，在无重锤的情况下不允许操作籽晶升降系统。
（3）在籽晶夹头底部揿入籽晶直到籽晶尾部凹槽，栓上定位销，并用力往下拉一拉，确保籽晶不会松动； （4）使用纱布沾无水乙醇洁净籽晶夹头和籽晶；
（5）扶稳钢丝绳至无晃动，快速下降籽晶至引晶位置以下，再用洁净薄膜手套向下拉紧钢丝绳，快速提
升籽晶至副室中部，打开隔离阀，关闭阀室炉门。
2.2.6 修改工艺参数
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（1）更改工艺参数中初始装料量为本次实际装料量； （2）更改坩埚跟踪控制环里投料重量为实际装料量；
操作步骤：炉体控制操作界面中按【坩埚跟踪】按钮，出现“坩埚跟踪控制环”界面，修改“投料重量”
为当前坩埚内的实际料重量。如果在“初始化”界面修改了初始装料量，然后采用自动抽真空步骤， 此处的投料重量会自动修改为工艺参数中设置的重量。
注意：由于每次装料量有可能不同，因此装料完成后必须确认该参数是否正确。如果设定与实际不符，将
导致等径时埚跟比与实际要求的埚跟比不同。值得注意的是，在拉晶时提出一段晶棒时，如果走自 动隔离程序，则控制系统会自动计算剩料重量，不需要手动修改；如用手动隔离，则必须手动在“坩 埚跟踪控制环”界面里修改“投料重量”为当前剩料重量。如果手动隔离又不修改重量，则拉第二 段时程序会按拉第一段处理，设定拉速从长度为零时开始走。
（3）更改工艺参数中“熔料步骤”页面下的坩埚位置为当前位置，或在“压力化/熔料”页面下的“坩埚
自动定位”设置为 0；确保熔料过程中坩埚误提升引起事故； （4）查看工艺参数中每一步骤设置是否正确，尤其是涉及埚位的步骤。
2.3 开始单晶的生长
完成以上步骤之后，就可以正式启动晶体生长程序了，对于控制系统界面操作还不熟悉的操作者，建 议再熟悉一下操作界面。
（1）按【炉体控制】按钮或在自动工艺时按【切换手动控制】按钮，将出现下面的操作界面；
信息提示栏 中英文切换 晶体/坩埚运动控制 自动工艺选择
炉 体 控 制 主 操作 选 择 工 艺 参 数 切 换 显 示 区 闭环控制 参数显示区
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（2）点击画面左侧的【炉体控制】、【氩气/真空】、【曲线数据】、【工艺参数】、【生长记录】、【辅助功能】、
【切换显示】、【系统维护】八个炉体控制主操作选择按钮即可显示与之对应的八个主操作界面； （3）点击画面上方的【晶体提升】、【坩埚提升】、【晶体旋转】、【坩埚旋转】四个按钮可以进入相应界面 操作籽晶/坩埚的运动方向和速度；
（4）顶部的【信息提示栏】内可显示当前工艺状态和报警提示信息以及操作提示信息。信息提示栏在手
动工艺状态时底色为黄色，自动工艺状态时底色为绿色，报警提示时底色为红色。报警时点击信息 提示栏声光报警器的蜂鸣器将自动关闭；
（5）点击【中英文切换】按钮可使操作界面在中文和英文界面之间切换； （6）画面中间是【工艺参数切换显示区】和【选择参数显示区】，前者随工艺状态的更改自动切换显示相
应工艺状态的工艺参数，后者显示在【切换显示】主界面内选择需要观察的相关参数； （7）画面下方分别是【等径控制】、【热场控制】、【液面温控】、【生长控制】、【坩埚跟踪】、【压力控制】
六个闭环控制按钮以及【升温控制】按钮。
2.4 抽真空
（1）确认主真空泵和副真空泵一切正常后，按“主真空泵开”按钮启动机械泵； （2）对装有较多粉料的炉子，将节流阀手动调节至零；
（3）在主界面选择【工艺选择】按钮，系统显示自动工艺选择画面；
（4）在自动工艺界面选择【开始自动拉晶】按钮，系统将显示下面的界面；
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