制程品管检验作业规范 - 图文 联系客服

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6.操作系统流程图

6.1.IPQC作业系统流程图

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6.2.IPQC检验流程图

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7.内容说明

7.1.外观检查:

7.1.1.IPQC制中监控方式:具体见附件一:In-line Monitor & Station Monitor之检验项目及

频率.另:附件一之检验项目及频率依据MIL-STD-105E抽样水平(具体见附件二). 7.1.2.如客户有特殊要求依客户规定. 7.2.切片检查:

7.2.1.各站切片确认依照《切片与背光检验规范》(FPQC013004)(如客户有特殊要求依客户规

定).

7.3.In-line Monitor & Station Monitor之检验项目及频率依附件一执行.

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7.4.使用设备,仪器,工具:光桌、三次元测量仪、金相显微镜、冲床、X-RAY测厚仪、穿孔目镜、

研磨机、离子污染测试机、可携带式表面粗度仪、量尺、卡尺、孔径规、分厘卡、15X/50X目镜,线宽量测仪,TDR阻抗测试仪,锡炉等.

7.5.缺点分类:品质特性不合乎所规定的规格、图样、客户规格等相关要求者,称之为缺点. 7.5.1.严重缺点(CRITICAL DEFECT,简称 C.R).影响产品的使用功能且无法挽救之报废性缺点. 7.5.2.主要缺点(MAJOR DEFECT,简称 M.A).不影响产品的信赖度功能,但会对下制程品质造成

修补或重工之缺点.

7.5.3.次要缺点(MINOR DEFECT,简称 M.I).不对下制程造成品质影响,且可修补挽救之缺点. 7.6.不良品分析所用设备依检测用工具,具体参照7.9.3.

7.7.实际运作后如所发现之缺点未入上述内容均为次要缺点并视实际需要增修本规范. 7.8.针对厂内ECO变更资料纳入IPQC重点检验项目并回签确认单PASS制前审核. 7.9.抽样及处置办法与停线时机: 7.9.1.停线时机:

7.9.1.1.设备故障立即停机/停线处理.

7.9.1.2.当药水异常并且无法立即调整,且药水复验仍异常时立即停线. 7.9.1.3.当单一批单一缺点超过20%并且未找到真因时,则立即停线查检. 7.9.1.4.当单一批单一报废缺点超过10%并且未找到真因时,则立即停线查检.

7.9.1.5.当在线品质异常达到7.9.1.3或7.9.1.4时,由当站IPQC立即开出《品质异常停线通

知单》(QC013002-01)并通知品管领班或当站品管工程师(PQE)进行审核,由品管部课级(含以上)主管核准后将《品质异常停线通知单》(QC013002-01)送至责任单位领班级以上人员确认,责任单位领班接收到《品质异常停线通知单》(QC013002-01)后立即对该设备进行停线动作并追踪品质及通知四功能人员协助查找原因.品质异常恢复后(经品管工程师级以上人员确认OK后)方可开机作业.在设备正常生产一个工作日(24小时)以内由责任单位及品管工程师共同将《品质异常停线通知单》(QC013002-01)填写完整后送至品管部课级(含以上)主管核准.由品管及责任单位各一份进行存档以便进行追溯.

7.9.2.制程品管在品质抽样检验过程中若发现品质异常,则立即通知当站主管及当站品管工程

师实时进行处置.依《品质管制运作管理程序》(FPQC012002)之规定发出《品质异常处理通知单》(QC012002-01),并依异常的等级判定异常是否为重大异常还是一般异常,以及异常板的管制方式.IPQC需将所发现之缺点记录于各站检验日报表上以便进行追踪及作为生产品质之指针.

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